氦质谱仪泄漏检测简介

氦质谱泄漏检测技术是以氦气为示踪气体、用质谱分析实现超高精度检漏的检测方法，最小可检漏率可达 10⁻¹² Pa·m³/s 量级。

一、核心原理

1. 示踪气体（氦气）特征

- 惰性、无毒、不腐蚀工件。

- 分子量小（4）、穿透力强，能穿过极微小漏孔。

- 空气中背景浓度极低（≈5ppm）。

2. 质谱筛选

- 工件抽真空或充氦，漏孔处氦气进入仪器。

- 离子源将气体电离，电磁场按质荷比（m/z）分离，只让氦离子（m/z=4）通过并被检测。

- 信号强度对应漏率大小，实现定性+定量检测。

二、常用检测模式

- 真空喷吹法（最常用）

工件抽真空并连检漏仪，外部可疑处喷氦；氦气被吸入，快速定位漏点。

- 正压吸枪法

工件内部充氦（正压），用吸枪在外部扫描；氦气外漏被吸枪捕捉，适合大型/不便抽真空工件。

- 真空罩法（整体漏率）

工件置于真空罩内，工件充氦、罩子抽真空，测整体漏率，用于出厂/验收抽检。

三、关键优势

- 灵敏度极高：可检10⁻¹² Pa·m³/s微漏，远超皂泡、压力衰减法。

- 定位精准：配合喷枪/吸枪可精准到焊缝、密封面等具体位置。

- 安全无损：氦气惰性无毒，不损伤工件、无污染。

- 响应快、可定量：秒级响应，直接读漏率数值，便于质量管控。

四、典型应用场景

-阀门，管道，压力容器

- 航空航天：航天器密封舱、燃料箱、真空部件。

- 新能源：动力电池焊缝、氢燃料电池管路、储能容器。

- 制冷/空调：压缩机、蒸发器、冷媒管路（微小冷媒泄漏）。

- 半导体/真空：真空腔室、晶圆载具、高真空系统。

- 医疗器械：无菌包装、植入器件、密封容器。

五、氦质谱检漏与传统方法对比的优势

- 皂泡法：灵敏度低（≈10⁻⁴ Pa·m³/s），仅显大漏，不能定量。

- 压力衰减法：易受温度/容积影响，微漏难测、耗时长。

- 氦质谱法：灵敏度高、定位准、可定量、安全，高端制造首选。

六、简要操作流程（真空喷吹法）

1. 工件清洁、封堵非检测口。

2. 工件抽真空并连接检漏仪。

3. 仪器校准、调零。

4. 可疑区域缓慢喷氦，观察漏率变化。

5. 标记漏点、记录漏率，修复后复检。

济南应用检测技术有限公司

2026年6月18日